5 月 22 日消息,集邦咨询今天(5 月 22 日)发布博文,基于泄露的 VLSI 2026 会议摘要,力积电(PSMC)将联合英特尔、SAIMEMORY(软银旗下)展示 Via-in-One TSV 架构,主打更高带宽和更低数据传输功耗。
报道指出英特尔正携手软银旗下的 SAIMEMORY,推进 Z-Angle Memory(ZAM)合作,而最新消息称力积电 PSMC 已加入阵容。附上相关截图如下:
根据泄露的 VLSI 2026 会议预发布摘要,三方将同台公布一种新型 3D DRAM 堆叠方案 Via-in-One TSV。
根据摘要内容,该架构可在定制 DRAM 晶圆堆叠中,把数据传输带宽做到约 0.25 Tb/s/mm2,同时把数据传输功耗控制在 0.35 W/mm2 以下。
对需要频繁读写显存的 AI 训练、推理和高性能计算来说,带宽和功耗往往相互拉扯,因此这组指标如果最终落地,意味着单位面积内能传更多数据,同时少耗电、少发热。
从工艺看,三方还将介绍一种 multi-wafer via-last(多晶圆后通孔)流程,用于实现 fusion-bonded wafer integration(融合键合晶圆集成)。
这一设计可把数据移动能耗降到 0.7 pJ / bit 以下。每层堆叠内存采用约 3 μm 的超薄硅基底,以降低 TSV 电阻;同时引入约 10 × 85 μm2 的 oxide-trench TSV(氧化物沟槽 TSV),间距为 20 μm,相当于每层约 1.37 万个 TSV,以提升高速传输时的信号完整性。
为了提高互连质量,联合团队据称选用了 O 型设计,其接触电阻比 C 型方案低约 40%。摘要还提到,完整 9 层 DRAM 堆叠已完成功能验证,工作电压范围在 0.95V 到 1.2V 之间,并通过了可靠性测试。